چرا از روش گرمایش مادونقرمز برای خشک کردن نیمههادیهای بدون سرب استفاده میکنیم؟
هنگام خشک کردن ویفرهای حسگرهای MEMS، در واقع در حال انجام یک کار پرخطر هستیم. باید تمام قطرات آب موجود روی ساختارهای ریز و حساس این ویفرها را از بین ببریم، بدون اینکه به طور تصادفی آنها را خراب یا تحریف کنیم.
برای مدت طولانی، افراد از فرهای هوای گرم یا مواد شیمیایی برای انجام این کار استفاده میکردند. اما صنعت در حال حرکت به سمت استانداردهای «بدون سرب و سبز» است؛ بنابراین این روشهای قدیمی دیگر کافی نیستند. اینجاست که گرمایش مادونقرمز میتواند کمک کند.
نحوه کارکرد آن
فرض کنید از یک فر هوای گرم استفاده میکنید؛ باید ابتدا هوا را گرم کنید، سپس محفظه، سپس سطح ویفر، و در نهایت آب را گرم کنید. این روش آهسته و پرهزینه است.
اما در روش گرمایش مادونقرمز، اینطور نیست؛ تشعشعات مستقیماً به مولکولهای آب روی سطح ویفر برخورد میکنند. در نتیجه، دما به سرعت افزایش مییابد. از آنجایی که این روش بسیار دقیق است، میتوانیم از مواد شیمیایی مورد استفاده در روشهای قدیمی خودداری کنیم.
هزینههای انرژی
اگر تا به حال از فرهای هوای گرم استفاده کردهاید، میدانید که آنها از نظر مصرف انرژی بسیار پرهزینه هستند؛ آنها باید ۲۴ ساعته کار کنند تا دما ثابت بماند.
اما در روش گرمایش مادونقرمز، تنها زمانی انرژی مصرف میشود که دریچهها باز باشند یا لامپها فعال شوند. میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر بسیار کمتر است؛ بنابراین هزینه برق نیز کاهش مییابد.
اما نکته مهم این است که چون گرما به سرعت و با شدت زیادی اعمال میشود، باید مراقب باشیم که ویفرها آسیب نبینند. اگر دمای چرخش شیشه در سطح ویفر کم باشد، نمیتوانیم مستقیماً از گرما برای خشک کردن ویفر استفاده کنیم؛ بلکه باید فرکانس پالسها را تنظیم کنیم تا ویفرها آسیب نبینند.
نصب آن در اتاقهای تمیز
فضا در اتاقهای تمیز همیشه یک مشکل بزرگ است. سیستمهای گرمایش مادونقرمز بسیار کوچکتر از فرهای هوای گرم هستند؛ علاوه بر این، در این سیستمها هیچ فنی وجود ندارد. عدم وجود فن به معنای عدم ایجاد گرد و غبار در محیط است؛ این موضوع محیط را بسیار ایمنتر میکند. جایگزینی این سیستمها با فرهای قدیمی بسیار آسان است.
ما مطمئن شدهایم که این سیستمهای گرمایشی از لحظه اتصالات جوشکاری تا پوششهای کوارتزی، کاملاً بدون سرب هستند؛ این موضوع باعث میشود که رعایت استانداردهای RoHS و قوانین زیستمحیطی بسیار آسان شود.
هیچ گاز خطرناکی تولید نمیشود، انرژی هدر نمیرود، و فرآیند خشک کردن نیز بسیار تمیزتر خواهد بود. این روش، روشی سادهتر و هوشمندانهتر برای رسیدن به صفر انتشار گازهای زیانآور است.