در یک خط 300mm، انحراف نیم درجه سانتیگراد در طی پخت فتورزیست کافی است تا کنترل ابعاد بحرانی را از مشخصات خارج کند. شما تغییرات را در نمودارهای SPC مشاهده میکنید و ضایعات به سرعت جمع میشود. ما یک هیتر مادون قرمز دقیق برای الکترونیک ساختیم تا رفتار حرارتی را در محدوده فرآیند، شیفت به شیفت، حفظ کند.
از نظر فنی مهم است: دستگاه از امیترهای NIR کوتاهموج در طراحی کوارتز-هالوکژن استفاده میکند، بنابراین پاسخ سریع و تابشی است و در کمتر از یک ثانیه تثبیت میشود. در سراسر ناحیه پخت، یکنواختی در سطح ویفر ±0.1°C حفظ میشود که باعث پیشبینیپذیری ابعاد خط و فضا پس از هر دو مرحله پخت نرم و سخت میشود.
این دستگاه برای استفاده در کلینروم طراحی شده است—عملکرد در کلاس 1–100، تولید صفر ذرات، بدنه کاملاً مهر و موم شده و کانکتورهای فرآیندی پاک. تکرارپذیری ±0.2°C در اجرای 24/7 است و در پیادهسازیهای آزمایشی هیچ توقف غیرمنتظرهای مشاهده نشده است.
چرا در لیتوگرافی کارآمد است: مرحله پخت نمای فتورزیست و مبنای عیب را تعیین میکند. تثبیت دما در سراسر ویفر، تعمیرات مجدد را کاهش داده و بازده را افزایش میدهد. در نتیجه، توزیع CD محدودتر، رویدادهای خارج از فوکوس مرتبط با انحراف حرارتی کمتر و رفتار یکنواخت حذف لبههای برجسته حاصل میشود.
از آنجا که مسیر تابشی مستقیماً هدف را گرم میکند، مصرف انرژی کاهش مییابد—شما در حال گرم کردن محفظه نیستید. و طول عمر امیترها بالا است: ما واحدها را بیش از 5,000 ساعت با کاهش خروجی کمتر از 5٪ اجرا کردهایم، بنابراین نیاز به تعویض کمتر پیش میآید.
نکاتی که باید در نظر گرفت: نصب به فاصله امیتر تا ویفر و ضریب دید خلاصه میشود؛ حتی تغییر کوچک در فاصله، پروفیل حرارتی را تغییر میدهد. هیتر به پایههای استاندارد OEM میخورد، اما اگر در حال ادغام در پلتفرم قدیمی هستید، ممکن است به یک آداپتور مکانیکی جزئی نیاز داشته باشید.
برای اتصال ESD کلینروم برنامهریزی کنید و مطمئن شوید کنترلر شما میتواند حلقه بسته را روی هر سنسوری که انتخاب میکنید، برقرار کند. ولتاژ و کانکتور را با ایستگاه خود تطبیق دهید و بودجه زمانی کمی برای راهاندازی اولیه در نظر بگیرید تا دستورالعمل فرآیند تثبیت شود.