جلوگیری از انفجار: استفاده از حرارت مادون قرمز در مناطق شیمیایی
اگر در یک کارخانه تولید نیمههادی کار میکنید، میدانید که فرآیندهای تمیزکردن شیمیایی ضروری هستند؛ اما این فرآیندها معمولاً شامل استفاده از حلالهای فرار است. اگر یک لامپ مادون قرمز معمولی را در این محیط استفاده کنید، در واقع نه تنها ویفر را گرم میکنید، بلکه خطر انفجار را نیز افزایش میدهید.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ به جای استفاده از ساختارهای باز که باعث میشود همه چیز در معرض خطر قرار بگیرد، ما کل دستگاه را در یک پوسته مخصوص و ضدانفجار قرار میدهیم.
نحوه عملکرد این سیستم
میتوانید آن را مانند یک حباب محافظ در نظر بگیرید. لامپهای مادون قرمز ما را در شیشه کوارتز یا بوروسیلیکات با کیفیت بالا قرار میدهیم و انتهای آنها را با واشرهایی بسته میکنیم که در برابر مواد شیمیایی مقاوم هستند. این کار باعث ایجاد یک دیواره محکم بین عنصر گرمایشی و هوای اطراف آن میشود؛ بنابراین اگر بخارات شیمیایی وارد محفظه شوند، مشکلی پیش نخواهد آمد.
ما از سیستمهای محکم بستهبندی برای جلوگیری از تبادل گاز استفاده میکنیم؛ این کار دو کارکرد دارد: اولاً، جلوگیری از خوردگی داخل لامپ؛ که معمولاً دلیل از بین رفتن زودهنگام لامپهاست. دوماً، جلوگیری از انتشار جرقههای کوچک از ترمینالهای الکتریکی، که میتوانند باعث انفجار شوند.
مقابله با گرما و فشار
مشکل اینجاست که گرما باعث حرکت اجسام میشود؛ اگر سیستم بستهبندی بیش از حد سفت باشد، کوارتز گسترش یافته و شیشه ترک خواهد خورد؛ در نتیجه محافظت از دستگاه از بین خواهد رفت.
ما بدنههای دستگاه را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در هنگام گرم شدن، کوارتز را در خود جذب کنند؛ بدین ترتیب سیستم بستهبندی پاره نخواهد شد. اما باید مراقب جریان هوا نیز باشید؛ گرچه تجهیزات الکترونیکی درون بدنه در امان هستند، اما شیشه بیرونی بسیار گرم میشود. اگر سیستم تهویه کافی نداشته باشد، سایر بخشهای دستگاه نیز دچار گرمای بیش از حد خواهند شد. این مشکل راهحل سادهای دارد، اما اغلب مردم آن را نادیده میگیرند.
نصب لامپها
نکته خوب این است که این لامپها میتوانند به عنوان جایگزین لامپهای معمولی استفاده شوند؛ لازم نیست کل سیستم را دوباره طراحی کنید. همچنین از کانکتورهای محکم برای اتصال لامپها استفاده میکنیم؛ زیرا ماشینها در حین کار لرزش دارند، و آخرین چیزی که میخواهیم این است که سیمها در مناطق قابل اشتعال شل شوند.
با جداسازی منبع گرما، در واقع خطر انفجار را از بین بردهایم؛ شما میتوانید از دماهای بالای لازم برای انجام کار استفاده کنید، اما میتوانید با خیال راحت بخوابید، چون دیگر خطر انفجار وجود ندارد.