دیگر وقت خود را صرف استفاده از هوای گرم نکنید؛ چرا که استفاده از فناوری مادون قرمز UHP بهترین راه است.
اگر هنوز از هوای گرم برای فرآوری نیمههادیها استفاده میکنید، احتمالاً زمان زیادی را صرف انتظار میکنید.
فکر کنید که هوای گرم چگونه عمل میکند: باید هوا را گرم کنید، سپس منتظر بمانید تا ویفر به دمای مورد نظر برسد. در کارخانههایی با تولیدات انبوه، این تأخیر بسیار مشکلساز است؛ زیرا باعث کاهش سود و کند شدن فرآیندها میشود.
گرمایی که مستقیماً به هدف میرسد
لامپهای UHP، محاسبات مربوط به گرمایش را تغییر میدهند؛ این لامپها از تابش امواج کوتاه برای انتقال انرژی مستقیماً به سطح ویفر استفاده میکنند. این کار بسیار سریع انجام میشود؛ نیازی به انتظار برای حرکت هوا یا تأخیر ناشی از گرمایش نیست.
بهترین نکته این است که دیگر نیازی به استفاده از بلوئرهای بزرگ و سیستمهای توزیع هوا نیست؛ این کار باعث کاهش فضای مورد نیاز برای تجهیزات و کاهش زمان فرآیند تولید میشود.
حفظ تمیزی
در محیطهای UHP، حتی یک ذره گرد و غبار یا یک مولکول گاز میتواند باعث خرابی کل مجموعه ویفرها شود؛ بنابراین ما از مواد با کیفیت بالا استفاده میکنیم.
اما یک نکته مهم وجود دارد: باید به منبع تأمین انرژی توجه کنید؛ اگر ولتاژ تغییر کند، نقاط گرمی روی ویفر ایجاد خواهد شد. شما میخواهید که گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش شود.
معایب (چون همیشه معایبی وجود دارد)
نمیتوانم بگویم که این روش یک روش ساده و بدون مشکل است؛ چرا که چنین نیست.
چگالی گرمای ناشی از مادون قرمز بسیار بالاست؛ اگر بدون توجه به سیستم خنککننده، لامپها را تعویض کنید، مشکلات زیادی خواهید داشت؛ ممکن است بدنه تجهیزات آسیب ببیند یا حسگرها از کار بیفتند.
قبل از اینکه این تغییر را انجام دهید، حتماً به سیستم خنککننده توجه کنید. وقتی که مشکل گرمایش برطرف شد، احتمالاً مشکلات جدیدی در زمینه مدیریت گرما پیش خواهد آمد؛ این همان واقعیت است.