http://ir-heat-parts.com/fa/tags/%D8%AC%D8%B1%D9%82%D9%87%D8%B2%D9%86%DB%8C/ Recent content in جرقهزنی on IR Heating Lamp Parts Hugo fa Tue, 23 Jun 2026 00:35:49 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/semiconductor-sputtering-heater/ Tue, 23 Jun 2026 00:35:49 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/semiconductor-sputtering-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="هیتر اسپاترینگ نیمههادی"></p> <p>در کارخانه‌های تولید نیمه‌هادی، دمای مورد نظر صرفاً یک پیشنهاد نیست؛ بلکه جزو خصوصیات اساسی فرآیند تولید است. تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در مرحله گرم‌کردن، می‌تواند باعث اختلال در نرخ رسوب‌گذاری شود؛ همچنین، تأخیر در شروع فرآیند سپاترینگ، باعث کاهش زمان کارکرد دستگاه می‌شود. ما این گرمکن‌های سپاترینگ را طوری طراحی کرده‌ایم که رفتار حرارتی آن‌ها قابل پیش‌بینی باشد؛ چه در شیفت‌های مختلف.</p> <p><strong>نکات فنی مهم:</strong> این گرمکن‌ها از یک عنصر با جرم حرارتی پایین و ساختاری بر پایه کوارتز استفاده می‌کنند؛ بنابراین نرخ افزایش دما سریع و یکنواخت است. یکنواختی دما در سراسر ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ این امر باعث می‌شود ضخامت لایه رسوبی در محدوده مورد نظر باقی بماند. این گرمکن‌ها برای استفاده در محیط‌های تمیز طراحی شده‌اند؛ مواد و سطوح مورد استفاده، باعث کاهش تولید ذرات به حداقل می‌شوند؛ بنابراین مناسب برای محیط‌های کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند. تکرارپذیری این گرمکن‌ها در ۱۰٬۰۰۰ چرخه، در محدوده ±۰.۲ درجه سانتی‌گراد است؛ بنابراین می‌توان از آن‌ها برای فرآیندهای تولیدی استفاده کرد.</p>