http://ir-heat-parts.com/fa/tags/%D9%84%D8%A7%DB%8C%D8%A8%D9%88%D9%84%D8%AF/ Recent content in لایبولد on IR Heating Lamp Parts Hugo fa Mon, 29 Jun 2026 07:27:28 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Mon, 29 Jun 2026 07:27:28 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="قطعه یدکی هیتر خلأ لایبولد"></p> <p>در مرحله فرآوری فوتورزیست، کنترل ضخامت خطوط روی ویفر، در واقع به کنترل دمای گرمکن بستگی دارد. حتی تغییر دما به میزان ۰.۵ درجه سانتی‌گراد نیز می‌تواند منجر به تغییرات در عرض خطوط، ایجاد لکه‌ها و هدر رفتن محصول شود. قطعات یدکی گرمکن‌های لبولد طوری طراحی شده‌اند که دما را در سطح بسیار پایینی، ساعت به ساعت، در شرایط خلا، تحت کنترل نگه دارند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟</strong> ما از فرستنده‌های هالوژنی با طول موج کوتاه در کوارتز با خلوص بالا استفاده می‌کنیم؛ این فرستنده‌ها باعث افزایش سرعت گرم شدن و یکنواختی دما در سراسر ویفر می‌شوند. بدنه گرمکن نیز مناسب برای فضاهای پاکسازی‌شده با سطح خلوص ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، این گرمکن‌ها در طول چرخه‌های حرارتی، هیچ ذره‌ای را تولید نمی‌کنند. استابیلیت دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ بنابراین پروفایل‌های گرمایشی یکنواخت باقی می‌مانند. توان تأمین شده نیز متناسب با سیستم‌های لبولد است؛ در پیوندها و ساختارهای ترمینال، امکان تعویض سریع وجود دارد. عایق‌بندی با الیاف کربنی نیز باعث می‌شود گرما در جای مناسب خود باقی بماند؛ این امر باعث کاهش مصرف انرژی بدون کاهش کارایی گرمکن می‌شود.</p>