http://ir-heat-parts.com/fa/tags/exposure/ Recent content in Exposure on IR Heating Lamp Parts Hugo fa Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="هیتر پخت پس از قرار گیری در معرض تابش (PEB)"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییرات دمایی در دستگاه PEB با نورهای هشداردهنده مشخص نمی‌شوند؛ بلکه این تغییرات منجر به تغییرات در عرض خطوط روی ویفرها می‌شود، و در نهایت منجر به کاهش بازدهی تولید می‌گردد؛ کاهشی که هیچ روش بازرسی‌ای نمی‌تواند آن را تشخیص دهد. در کارخانه‌های تولید، پایداری حرارتی یک مورد ضروری است؛ زیرا این پایداری، پایه و اساس کنترل فرآیند تولید محسوب می‌شود.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong><br> ما دستگاه گرمایشی PEB را بر اساس الکترومغناطیس‌های مادون قرمز کوتاه‌امواج و ساختارهای حرارتی مبتنی بر کوارتز ساختیم؛ به این ترتیب، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود. مقادیر دمایی نیز در هر بار کار، به طور دقیق تکرار می‌شوند؛ این امر باعث پایداری فرآیند تولید می‌شود. این سیستم مناسب برای استفاده در اتاق‌های پاک است؛ مواد مورد استفاده نیز به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که ایجاد ذرات در سیستم را به حداقل برسانند. این سیستم می‌تواند ۲۴ ساعته بدون توقف کار کند؛ همچنین مصرف انرژی نیز کاهش می‌یابد، بدون اینکه پایداری حرارتی تحت تأثیر قرار بگیرد.</p>