http://ir-heat-parts.com/fa/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on IR Heating Lamp Parts Hugo fa Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/fa/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="فرستنده مادون قرمز برای گرمایش PECVD"></p> <p>در کارخانه تولید، دمای محفظه <a href="https://o-yate.net">PECVD</a> یک پارامتر تصادفی نیست؛ بلکه تأثیر آن بر کیفیت فرآیند بسیار زیاد است. حتی تغییر ۱ درجه سانتی‌گراد در دما، منجر به تغییراتی در استرس لایه نهایی و عدم یکنواختی در نرخ حکاکی می‌شود. اگر منبع تابش مادون‌قرمز نتواند دمای مورد نیاز را حفظ کند، دیگر نمی‌توانید به استانداردهای مشخص شده دست یابید؛ در واقع، شما با مشکلات مربوط به کیفیت پایین محصول روبرو خواهید شد.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong><br> ما از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه درون پوشش کوارتزی استفاده می‌کنیم؛ زیرا این عناصر به سرعت دمای مورد نیاز را حفظ می‌کنند و کنترل دقیقی بر طیف تابش ایجاد می‌کنند. این امر منجر به یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد می‌شود؛ همچنین، این روش باعث می‌شود که کیفیت محصول در هر بار تولید یکنواخت باقی بماند. این سیستم برای استفاده در اتاق‌های پاکسازی با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، در حین کار، هیچ ذره‌ای ایجاد نمی‌شود. هیچ گازی از سیستم خارج نمی‌شود و لایه‌های تشکیل شده نیز دچار تغییرات نمی‌شوند. فقط گرمای یکنواختی از سیستم ساطع می‌شود.</p>