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		<title>Silicium on IR Heating Lamp Parts</title>
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				<title>Chauffage TSV (traversant en silicium)</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-parts.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png&#34; alt=&#34;Chauffage TSV (traversant en silicium)&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sur la ligne, la dérive de température n’est pas une hypothèse, c’est de la rebut. Dans le travail TSV, un écart de 0,5°C sur la plaquette peut se traduire par une variation de profondeur de gravure des vias, des profils de photorésist trop irréguliers, et des empilements qui ne tiennent pas. Il faut un chauffage qui considère la stabilité thermique &lt;a href=&#34;https://henruite.com&#34;&gt;comme&lt;/a&gt; une exigence de procédé, et non comme une espérance.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;Ce qui importe, techniquement&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;Nous utilisons des chauffages TSV qui maintiennent une uniformité au niveau de la plaquette dans ±0,1°C sur la zone active, mesurée directement à la surface du procédé. Le design s’appuie sur des éléments infrarouges ondes courtes et une gestion thermique à base de quartz, ce qui garantit une montée en température rapide et un contrôle reproductible en régime permanent.&lt;/p&gt;</description>
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