Chauffage infrarouge pour chambre à vide

Tue, 28 Jul 2026 05:28:56 +0800

Arrêtez de rêver à des pannes de lampes – et commencez plutôt à planifier pour les éviter.
Si vous travaillez dans une chambre à vide avec des équipements à forte charge, vous connaissez bien ce cauchemar : une lampe explose. Soudain, ce n’est plus seulement une question d’arrêt de production, mais aussi un vrai désastre. Des morceaux de quartz et de poussière de tungstène partout, se déposant directement sur vos wafers. Un simple accident suffit pour que toute votre production soit ruinée.

Pièce de rechange pour chauffage à vide Leybold

Mon, 29 Jun 2026 07:27:28 +0800

Lors du séchage du photorésistant, c’est là que se joue le contrôle de la largueur des lignes. Même une déviation de 0,5 °C dans la température du chauffage peut entraîner des écarts dans la largeur des lignes, ainsi que des problèmes de qualité. Les pièces de rechange pour les chauffages à vide Leybold sont conçues pour maintenir cette température stable, heure après heure, en conditions de vide.

Ce qui est important sur le plan technique Nous utilisons des émetteurs halogènes à vague courte, fabriqués en quartz de haute pureté : cela permet une montée en température rapide et une uniformité de température parfaite sur toute la surface de la wafer. Le corps du chauffage est compatible avec les environnements propres de classe 1–100, et sa conception évite toute émission de particules lors des cycles thermiques. La stabilité de la température atteint ±0,1 °C, ce qui permet de maintenir des profils de séchage constants. L’alimentation électrique est adaptée aux plateformes Leybold, avec des connecteurs et des circuits standard qui facilitent le remplacement. L’isolation en fibres de carbone permet de garder la chaleur là où elle doit être, réduisant ainsi la consommation d’énergie sans afecter l’efficacité du processus.

Vide on IR Heating Lamp Parts

Chauffage infrarouge pour chambre à vide

Pièce de rechange pour chauffage à vide Leybold