בתהליך הליתוגרפיה, תנור הייבוש של הוופר אינו משמש רק להוצאת הלחות מהוופר. הוא גם קובע את התנאים התרמיים הדרושים לכל תהליך עיבוד של הפוטורזיסט. עלייה של 2°C בטמפרטורה באזור מסוים על הוופר יכולה לגרום לשינוי ברוחב הקווים שעל הוופר – שינוי שלא ניתן לזהות בשום מדידה, עד שמתחילים לאבד פריטים מהוופר. עיצבנו את רכיב החימום של תנור הייבוש כך שיוכל למנוע דבר זה.
הרכיב המרכזי הוא רכיב אינפרא-אדום בעל גלים קצרים, העשוי מקוורץ-הלוגן, בשילוב עם מערך של מחזירי אור. הרכיב הזה מאפשר שמירה על אחידות הטמפרטורה על פני כל הוופרים, בטווח של ±0.1°C, עם רמת חזרה של הטמפרטורה בטווח של ±0.2°C. הרכיב יכול לפעול בסביבות נקיות מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים – חומרים בעלי פליטה נמוכה וחיבורים אטומים מונעים זיהום. עליית הטמפרטורה מתבצעת במהירות ובצורה מבוקרת, כך שניתן להשיג את הפרופיל התרמי המדויק הדרוש לעיבוד הפוטורזיסט, ללא חריגות.
בפועל, זה אומר שניתן לשלוט בממדים הקריטיים של הוופר בצורה יציבה, וכך להפחית את מספר הוופרים שצריך לעבד מחדש. הרכיב יכול לפעול 24/7, עם תחזוקה צפויה, והשליטה התרמית הקפדנית מפחיתה את בזבוז האנרגיה בכל מחזור. כך ניתן לקבל תוצאות יציבות בכל מחזור, בכל פלטפורמת תנור.
ההתקנה פשוטה, אך יש לראות בחיבור התרמי משתנה חשוב. דפוס האוורור של התנור והטולרנציות בהרכבת הרכיב קובעים את רמת האחידות שניתן להשיג. לכן, יש לבדוק את כיול התנור לאחר ההתקנה. יש לראות ברכיב חלק מהמערכת התרמית, ולא חלק נפרד, כדי שהתנור יפעל כמתוכנן – בכל פעם.