חימום לאחר חשיפה (PEB)

בחדרי הליתוגרפיה, שינויים בטמפרטורת ה-PEB אינם מודגשים על ידי אורות אזהרה. במקום זאת, הם מתבטאים בשינויים בעובי הקווים על פני הוואפרים, וכתוצאה מכך...