http://ir-heat-parts.com/he/tags/peb/ Recent content in (PEB) on IR Heating Lamp Parts Hugo he Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/he/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="חימום לאחר חשיפה (PEB)"></p> <p>בחדרי הליתוגרפיה, שינויים בטמפרטורת ה-PEB אינם מודגשים על ידי אורות אזהרה. במקום זאת, הם מתבטאים בשינויים בעובי הקווים על פני הוואפרים, וכתוצאה מכך יש אובדן באיכות המוצר – אובדן שלא ניתן לזהות באמצעות בדיקות רגילות. במפעלי ייצור, חזרתיות תרמית אינה דבר שניתן לבחור; זו דרישה בסיסית של תהליך הייצור.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> בנינו את החימום של ה-PEB על בסיס רכיבים אינפרא-אדומים לגלים קצרים ומערכת תרמית המבוססת על קוורץ. כך, האחידות בטמפרטורה על פני הוואפרים נשמרת בטווח של ±0.1°C. נקודות הטמפרטורה נשארות יציבות מכל פעם שהחימום פועל, מה שמאפשר שליטה יציבה בתהליך הפוטורזיסט. המערכת מתאימה לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והחומרים שבהם היא עשויה נבחרו כך שיומנעו יצירת חלקיקים. המערכת פועלת 24/7 ללא הפסקות, ומאפשרת שמירה על צריכת אנרגיה נמוכה, מבלי לפגוע ביציבות התרמית.</p>