परिचय हम हैलोजन हीटिंग लैंप बनाते हैं… लेकिन ऐसे लैंप नहीं, जैसे कि सामान्य कार्यशालाओं में पाए जाते हैं। ये लैंप विशेष रूप से वेफर प्रसंस्करण...

लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया ही लाइन-विस्थापन को नियंत्रित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है। यदि हीटर का तापमान 0.5°C भी बदल जाए,...