http://ir-heat-parts.com/id/tags/peb/ Recent content in (PEB) on IR Heating Lamp Parts Hugo id Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Pemanas untuk proses Post Exposure Bake (PEB)"></p> <p>Di lantai proses litografi, penyimpangan suhu PEB tidak ditandai dengan lampu peringatan. Penyimpangan tersebut terlihat dalam bentuk penyimpangan lebar garis pada permukaan wafer, yang pada akhirnya menyebabkan penurunan tingkat produksi yang sulit diidentifikasi melalui audit apa pun. Dalam pabrik semiconductor, ketepatan suhu merupakan hal yang sangat penting; hal ini merupakan bagian dari proses kontrol yang harus dipatuhi.</p> <p><strong>Apa yang penting secara teknis?</strong> Kami merancang pemanas PEB menggunakan elemen inframerah berpanjang gelombang pendek dan struktur termal berbahan kuarsa. Dengan demikian, keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer dapat dipertahankan pada kisaran ±0,1°C. Pengaturan suhu dilakukan secara konsisten setiap kali proses dilakukan, sehingga kualitas bahan fotoresist tetap stabil. Sistem ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang digunakan dirancang untuk meminimalkan pembentukan partikel. Sistem ini dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan, sekaligus mengurangi penggunaan energi tanpa mengorbankan stabilitas suhu.</p>