Riscaldatore a infrarossi di precisione per elettronica

Tue, 02 Jun 2026 06:18:44 +0800

Su una linea da 300mm, uno scostamento di mezzo grado Celsius durante la cottura del photoresist è sufficiente a far uscire il controllo della dimensione critica dalle specifiche. Si osservano le deviazioni sui grafici SPC e lo scarto si accumula rapidamente. Abbiamo costruito un riscaldatore a infrarossi di precisione per elettronica per mantenere il comportamento termico all’interno della finestra di processo, turno dopo turno.

Ciò che conta, tecnicamente:
L’unità utilizza emettitori NIR a onda corta in un design quarzo-alogeno, garantendo una risposta rapida e radiante, con stabilizzazione in meno di un secondo. Nell’intera zona di cottura, l’uniformità a livello wafer si mantiene a ±0,1°C, assicurando dimensioni di linee e spazi prevedibili sia dopo il soft bake che dopo l’hard bake.
È progettato per l’utilizzo in cleanroom—funzionamento Class 1–100, zero generazione di particelle, involucro sigillato e connettori per processo pulito. La ripetibilità è di ±0,2°C su corse 24/7, e nelle implementazioni pilota non si sono registrati fermi non pianificati.

Elettronica on IR Heating Lamp Parts

Riscaldatore a infrarossi di precisione per elettronica