Emettitore infrarosso per riscaldamento PECVD

Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800

Nelle linee di produzione, la temperatura all’interno della camera PECVD non è semplicemente un parametro di impostazione secondario: è proprio lei che determina il successo o fallimento del processo di deposizione del film. Una variazione di 1°C nella temperatura del susceptor si traduce immediatamente in variazioni nella tensione del film e nell’irregolarità del tasso di etching. Se l’emittore a infrarossi non riesce a mantenere una temperatura costante, allora non si può più parlare di rispetto delle specifiche tecniche richieste… Si tratta semplicemente di prodotti difettosi.

PECVD on IR Heating Lamp Parts

Emettitore infrarosso per riscaldamento PECVD