加熱 on IR Heating Lamp Parts

省エネ型半導体ヒーター

Sat, 25 Jul 2026 05:02:02 +0800

揮発性化学物質を加熱するときの安全対策
正直に言って、半導体の洗浄に使う化学薬品を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい溶剤を扱う際、わずかな火花や露出した加熱要素だけでも、単なる「技術的な問題」では済みません。それは大惨事を引き起こす可能性があります。

そのため、私たちは開放型のランプの使用をやめました。代わりに、赤外線加熱装置を特殊なシールで覆います。これは単純な変更ですが、夜間の睡眠の質に大きな違いをもたらします。

PECVD加熱用赤外線エミッタ

Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800

製造現場において、PECVDチャンバーの温度は単なる背景設定ではありません。それは、プロセスが成功するか失敗するかを決定する重要な要素です。サブセプターの温度が1℃だけ変動しても、フィルムの応力やエッチング速度にすぐに影響が現れます。もし赤外線エミッターが適切な性能を発揮できなければ、もはや仕様を満たすことは不可能です。結果として、不良品しか得られないのです。

重要なのは何か 私たちは、石英製のケース内に短波長のNIRハロゲン素子を使用しています。これにより、温度を迅速に制御でき、スペクトルも精密に管理できます。その結果、アクティブゾーン全体での温度のばらつきは±0.1℃以内に抑えられ、ロットごとに一貫した熱的特性が保たれます。また、この構造はクリーンルームレベル（クラス1～100）で使用でき、運用中に粒子が発生することもありません。ガスの放出や剥離も起こりません。安定した放射熱のみが得られます。

ウェーハ乾燥オーブンの加熱素子

Sun, 21 Jun 2026 06:37:45 +0800

リソグラフィーにおいて、ウェーハ乾燥オーブンの役割は単に水分を除去するだけではありません。それは、その後行われる各種フォトレジストのソフトベイクやハードベイクのための熱的条件を決定するものです。チャック部に2℃の温度差が生じると、線幅に変化が生じますが、この変化は、測定結果には現れず、問題が発生して初めて分かります。私たちは、このような事態を防ぐために、ウェーハ乾燥オーブンの加熱要素を特別に設計しました。