http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E5%8D%B8%E5%A3%B2/ Recent content in 卸売 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 05:04:51 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/wholesale-wafer-drying-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 05:04:51 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/wholesale-wafer-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="卸売用ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>製造現場では、スピンドライヤーから出てくるウェーハの温度が1.2℃でも偏差があると、リソグラフィーの要求条件を超えてしまうことをすぐに理解できます。ノードサイズが小さくなるにつれて、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの許容範囲もより厳しくなります。当然のことです。ドライヤーランプは、再現性の高い加熱を迅速に行い、かつ粒子が発生しないようにしなければなりません。</p>