http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E6%A4%9C%E6%9F%BB/ Recent content in 検査 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 05:28:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ Tue, 30 Jun 2026 05:28:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="半導体検査装置用ヒーター"></p> <p>検査時においては、安定性は分単位ではなく度単位で測定されます。フォトレジストを焼成する際にわずか数十分のずれがあっても、<a href="https://henruite.com">重要</a>な寸法に影響を与える可能性があります。また、粒子の発生も大きな問題となり得ます。そこで、この検査用ヒーターを開発したのです。これにより、そのようなばらつきを<a href="https://o-yate.com">排除</a>できます。</p> <p><strong>内部構造について</strong> 短波長の赤外線素子と、石英を使用した断熱設計を採用しています。加熱速度が速く、ウェーハ全体の均一性は±0.1℃程度です。ソフトベイクでもハードベイクでも、設定値は一定に保たれるため、露光や現像の条件が変動することはありません。</p>