http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ加工ツール用温度センサー"></p> <h1 id="ツールを加熱するのをやめてウェーハを加熱しましょう">ツールを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう</h1> <p>通常の赤外線ランプは、基本的には電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。ウェーハ処理用の装置では、これは大きな問題となります。<br> 加熱を強くすると、そのエネルギーの大部分がウェーハに届かず、代わりに装置の内壁に当たってしまいます。その結果、装置の内部部品が変形したり、最悪の場合、メンテナンス時に作業員が火傷を負うこともあります。</p>