http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 05:28:59 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-infrared-heaters-for-vacuum-chambers/ Tue, 28 Jul 2026 05:28:59 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-infrared-heaters-for-vacuum-chambers/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>もう、ランプの故障について夢見るのはやめましょう。代わりに、それに備えて計画を立てましょう。<br> もし、真空チャンバー内で高負荷の生産を行っているなら、その悪夢のような状況をご存知でしょう。ランプが壊れてしまうと、単に停止するだけでは済まず、完全に大混乱に陥ります。クォーツやタングステンの破片が至る所に散乱し、ウェーハに付着してしまいます。一度壊れてしまうと、そのロット全体が無駄になってしまいます。</p> http://ir-heat-parts.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Mon, 29 Jun 2026 07:27:28 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="レイボルド真空ヒーターのスペア部品"></p> <p>フォトレジストの焼成工程において、線幅の制御は非常に重要です。ヒーターの温度が0.5°Cでもずれると、CDのズレや<a href="https://o-yate.com">不良品</a>が発生します。Leyboldの真空ヒーターの予備部品は、真空中で何時間も<a href="https://o-yate.net">安定</a>した温度を維持するように設計されています。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、高純度クォーツを使用した短波ハロゲンエミッターを採用しています。これにより、素早く温度が上昇し、ウェーハ全体での温度均一性が保たれます。ヒーター本体はクラス1～100のクリーンルーム環境に適しており、熱サイクル中に粒子が飛散することもありません。設定温度の安定度は±0.1°Cであり、そのためソフトベイクやハードベイクのプロファイルも安定しています。電力供給はLeyboldの製品に合わせて設計されており、標準的なコネクタや端子構造により、交換が<a href="https://goldisgood.com">簡単</a>かつ迅速に行えます。炭素繊維による断熱処理により、熱が必要な場所に留まり、エネルギー消費を抑えつつも応答速度を維持できます。</p>