http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%B1%8B%E5%AE%A4/ Recent content in 部屋、室 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 05:28:59 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-infrared-heaters-for-vacuum-chambers/ Tue, 28 Jul 2026 05:28:59 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-safety-engineered-infrared-heaters-for-vacuum-chambers/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>もう、ランプの故障について夢見るのはやめましょう。代わりに、それに備えて計画を立てましょう。<br> もし、真空チャンバー内で高負荷の生産を行っているなら、その悪夢のような状況をご存知でしょう。ランプが壊れてしまうと、単に停止するだけでは済まず、完全に大混乱に陥ります。クォーツやタングステンの破片が至る所に散乱し、ウェーハに付着してしまいます。一度壊れてしまうと、そのロット全体が無駄になってしまいます。</p>