http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E9%9B%BB%E5%AD%90%E5%B7%A5%E5%AD%A6/ Recent content in 電子工学 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:18:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/precision-infrared-heater-for-electronics/ Tue, 02 Jun 2026 06:18:44 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/precision-infrared-heater-for-electronics/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="電子機器用高精度赤外線ヒーター"></p> <h1 id="300mmラインにおいてフォトレジストのベーク中に05のドリフトが発生するとクリティカルディメンション制御が仕様外に逸脱する要因となるspcチャート上で逸脱が確認されるとスクラップが急速に増加するそこで工程内の熱挙動をシフトごとに安定化させるため電子機器向けの高精度赤外線ヒーターを開発した">300mmラインにおいて、フォトレジストのベーク中に0.5℃のドリフトが発生すると、クリティカルディメンション制御が仕様外に逸脱する要因となる。SPCチャート上で逸脱が確認されると、スクラップが急速に増加する。そこで、工程内の熱挙動をシフトごとに安定化させるため、電子機器向けの高精度赤外線ヒーターを開発した。</h1> <p>技術的に重要な点： 本装置はクォーツハロゲン構造の短波長NIRエミッターを搭載しており、応答速度が速く放射加熱であるため、1秒未満で温度が安定する。ベークゾーン全体でウェーハレベルの均一性は±0.1℃以内に保持され、ソフトベークおよびハードベーク後のラインおよびスペース寸法の予測性を確保する。</p>