http://ir-heat-parts.com/ja/tags/%E9%9C%B2%E5%87%BA/ Recent content in 露出 on IR Heating Lamp Parts Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="露光後焼成 PEB ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、PEBの温度変動は警告灯としては表示されません。代わりに、ウェーハ全体にわたって線幅が変動し、その結果、どのような原因かを<a href="https://goldisgood.com">特定</a>できない<a href="https://o-yate.com">歩留</a>まりの低下が生じます。ファブでは、熱的な再現性は単なる好みというものではありません。それはプロセス制御において極めて重要な要素です。</p>