http://ir-heat-parts.com/ko/tags/%EC%98%A4%EB%B8%90/ Recent content in 오븐 on IR Heating Lamp Parts Hugo ko Thu, 23 Jul 2026 12:09:15 +0800 http://ir-heat-parts.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Thu, 23 Jul 2026 12:09:15 +0800 http://ir-heat-parts.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="클린룸 오븐 적외선 히터"></p> <p>왜 클린룸에서는 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는가?<br> 반도체 가공 과정에서 가장 중요한 것은 바로 <strong>시간</strong>입니다.<br> 만약 여전히 강제로 공기를 이용해 부품을 가열하거나 건조시킨다면, 오븐이 부품 처리 속도를 따라잡지 못해 답답함을 느꼈을 것입니다. 그래서 많은 사람들이 적외선 가열 방식으로 전환하고 있습니다.</p> http://ir-heat-parts.com/ko/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ Sun, 28 Jun 2026 06:03:02 +0800 http://ir-heat-parts.com/ko/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프"></p> <p>웨이퍼 건조나 포토레지스트 소성 과정에서 발생하는 온도 변동은 단순한 비효율성에 그치지 않고, 결국 제품의 품질을 저하시키는 원인이 됩니다. 웨이퍼 전체에 3°C 정도의 온도 차이가 생기면, 웨이퍼의 치수가 정확하지 않아집니다. 또한, 온도 상승 속도가 너무 느리면 용매가 남아 있게 되어 결함이 발생할 수 있습니다. SK15 적외선 램프는 이러한 문제들을 해결하기 위해 설계된 것으로, 단순히 추측에 의존하는 것이 아니라 정밀하게 계산된 방식으로 열을 공급합니다.</p> http://ir-heat-parts.com/ko/posts/wafer-drying-oven-heating-element/ Sun, 21 Jun 2026 06:37:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/ko/posts/wafer-drying-oven-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="와퍼 건조 오븐 가열 요소"></p> <p>리소그래피에서 웨이퍼 건조 오븐은 단순히 수분을 제거하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 장비는 향후 이루어지는 모든 포토레지스트 처리 과정에 있어서 필요한 열 조건을 결정하는 중요한 요소입니다. 척 위의 특정 부위에서 2°C 정도의 온도 차이가 생기면, 선폭에 변화가 생길 수 있으며, 이러한 변화는 측정 결과에는 나타나지 않습니다. 하지만 웨이퍼가 손상될 때까지는 그 문제가 드러나지 않습니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 웨이퍼 건조 오븐의 가열 요소를 특별하게 설계했습니다.</p>