http://ir-heat-parts.com/ko/tags/%ED%8F%AC%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포스트 on IR Heating Lamp Parts Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="노출 후 건조용 히터(PEB 히터)"></p> <p>리소그래피 공정에서는 PEB의 온도 변동이 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 웨이퍼 전체에 걸쳐 선폭이 변하게 되며, 그 결과 수율이 저하됩니다. 이러한 문제는 어떤 감사 절차로도 정확히 파악하기 어렵습니다. 반도체 공장에서는 열적 안정성이 단순한 우선순위가 아니라, 공정 제어의 핵심 요소입니다.</p>