Pada baris 300mm, pergeseran setengah darjah Celsius semasa proses pembakaran photoresist sudah cukup untuk menolak kawalan dimensi kritikal keluar dari spesifikasi. Anda memantau anomali yang muncul pada carta SPC, dan sisa produk bertambah dengan cepat. Kami membina pemanas inframerah tepat untuk elektronik bagi memastikan tingkah laku termal berada dalam tetingkap proses, setiap syif.
Apa yang penting, dari segi teknikal: Unit ini menggunakan pemancar NIR gelombang pendek dalam reka bentuk kuarza-halogen, jadi tindak balasnya pantas dan radian, stabil dalam masa kurang dari satu saat. Sepanjang zon pembakaran, keseragaman pada peringkat wafer dikekalkan pada ±0.1°C, yang memastikan dimensi garisan dan ruang dapat diramal selepas pembakaran lembut dan pembakaran keras.
Ia direka untuk penggunaan bilik bersih—operasi Kelas 1–100, tiada penghasilan zarah, rumah kedap, dan penyambung proses bersih. Kebolehulangan adalah ±0.2°C sepanjang operasi 24/7, dan dalam ujian perintis kami tidak menemui sebarang masa henti tidak dirancang.
Mengapa ia berfungsi dalam litografi Langkah pembakaran menetapkan profil photoresist dan garis dasar kecacatan. Menstabilkan suhu di seluruh wafer mengurangkan kerja semula dan meningkatkan hasil. Anda memperoleh taburan CD yang lebih ketat, kurang kejadian kabur yang berkaitan dengan pergeseran termal, dan tingkah laku penghapusan bead tepi yang konsisten.
Oleh kerana laluan radian memanaskan sasaran secara langsung, penggunaan tenaga menurun—anda tidak memanaskan ruang. Dan pemancar tahan lama: kami telah mengendalikan unit selama lebih 5,000 jam dengan penurunan output kurang dari 5%, jadi penggantian jarang diperlukan.
Perkara yang perlu diingat Pemasangan bergantung pada jarak pemancar ke wafer dan faktor pandangan; walaupun perubahan kecil pada jurang mengubah profil termal. Pemanas ini sesuai dengan pemasangan OEM standard, tetapi jika anda mengintegrasi ke platform lama, anda mungkin memerlukan adapter mekanikal kecil.
Rancang untuk pembumian ESD bilik bersih, dan pastikan pengawal anda dapat menutup gelung kawalan pada sensor pilihan anda. Padankan voltan dan penyambung dengan stesen anda, serta sediakan masa pengujian singkat untuk menetapkan resipi.