Hentikan masalah serpihan: Pastikan wafer anda tetap bersih apabila pemanas gagal berfungsi
Dalam fasiliti pengeluaran semikonduktor yang berskala besar, kerosakan pada lampu inframerah bukan sekadar masalah penyelenggaraan biasa. Ia merupakan situasi yang sangat buruk. Bayangkan saja jika tiub kuarsa di dalam glovebox tiba-tiba pecah. Kemudian, serpihan kaca dan gas halogen akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Dengan itu, hasil pengeluaran akan hilang sepenuhnya.
Kami membangunkan pemanas inframerah khusus untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku.
Mengapa lampu tersebut rosak
Biasanya, kerosakan berlaku disebabkan oleh gempa haba atau titik panas yang berlaku di bahagian tertentu. Untuk mengatasinya, kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi dengan ketebalan dinding yang cukup untuk menahan perubahan suhu yang mendadak tanpa menyebabkan keretakan.
Tetapi itu sahaja tidak mencukupi. Kami juga menambah lapisan pelindung tambahan. Ini penting kerana jika filamen lampu terbakar, tiub tersebut masih boleh bertahan dan tidak akan pecah. Ini bermakna produk anda tidak akan terjejas akibat letupan yang berlaku.
Menghalang bahan-bahan tidak diingini daripada masuk
Kami juga menggunakan cara pemisahan tambahan. Dengan menggunakan lapisan kuarsa bertemperatur tinggi atau lapisan pelindung khas, kami dapat menghalang bahan-bahan dalaman lampu daripada keluar ke dalam glovebox.
Selain itu, sambungan wayar juga perlu diberi perhatian. Sambungan wayar biasanya menjadi bahagian yang paling mudah rosak akibat suhu yang tinggi. Kami menggunakan penutup ekor wayar yang kukuh untuk mengelakkan kebocoran sebelum ia berlaku.
Keseimbangan yang perlu dicapai
Ada trade-off yang perlu dipertimbangkan. Anda mahu kuasa yang lebih tinggi agar wafer dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat. Namun, kuasa yang lebih tinggi akan memberi tekanan yang lebih besar pada kuarsa. Jika anda ingin mendapatkan suhu yang lebih tinggi, anda perlu memastikan sistem pengudaraan dalam glovebox berfungsi dengan baik untuk mengeluarkan haba yang berlebihan. Jika suhu di sekeliling terlalu tinggi, lampu tersebut akan rosak lebih cepat.
Kami membuat pengganti lampu ini agar mudah diganti. Anda hanya perlu menukar lampu tersebut dengan cepat, pastikan glovebox tetap tertutup, dan dapat meneruskan kerja tanpa risiko kepada persekitaran.