Dalam proses pemeriksaan, kestabilan suhu diukur dalam darjah, bukan minit. Sedikit saja perubahan suhu semasa proses pembakaran bahan fotoresist sudah cukup untuk mengganggu dimensi yang kritikal. Selain itu, kehadiran zarah-zarah tertentu juga boleh merosakkan hasil pemeriksaan. Kami mencipta alat pemanas ini untuk mengurangkan variasi suhu tersebut.
Apa yang telah kami lakukan
Kami menggunakan elemen inframerah berfrekuensi rendah serta reka bentuk termal yang diperkukuh dengan kuarsa. Proses peningkatan suhu berlaku dengan cepat, dan ketekalan suhu pada tahap wafer adalah sekitar ±0.1°C. Nilai tetap suhu dapat dipertahankan sepanjang proses pembakaran, sehingga hasil pemeriksaan tetap konsisten.
Alat ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Antaramuka antara komponen-komponen alat ini disegel dengan baik, dan bahan-bahan yang digunakan mempunyai kadar pelepasan gas yang rendah, sekali gus memastikan jumlah zarah-zarah terkawal. Alat ini boleh beroperasi 24/7 tanpa masalah, dan perubahan suhu tidak melebihi 0.05°C setiap 1,000 jam.
Mengapa alat ini sesuai untuk digunakan dalam proses pemeriksaan
Dalam proses pemeriksaan, alat pemanas ini membantu menstabilkan suhu di titik yang tepat. Variasi suhu berkurangan, dan syarat-syarat pembakaran tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Ini bermakna kurangnya keperluan untuk membaiki semula produk, kurangnya bahan buangan, dan prestasi yang konsisten. Respons yang cepat serta penggunaan tenaga yang rendah menjadikan alat ini efisien. Selain itu, jangka masa perkhidmatan yang panjang membolehkan masa penyelenggaraan menjadi lebih singkat. Tiada masalah—hanya hasil yang boleh diharapkan.
Apa yang perlu disesuaikan
Keserasian alat ini bergantung pada struktur mekanikalnya, saluran bekalan kuasa, dan antaramuka kawalan. Masa yang diperlukan untuk menyesuaikan sambungan, voltan, dan cara pemasangan adalah 2–3 minggu.
Untuk mendapatkan prestasi yang terbaik, pastikan aliran udara keluar dan sistem penyejukan alat pemeriksaan ini sesuai dengan beban haba yang dihasilkan oleh alat pemanas. Jika tidak, kestabilan nilai suhu akan terjejas.