Dalam proses litografi, ketuhar pengering wafer bukan sekadar alat untuk mengeluarkan kelembapan sahaja. Ia juga berperanan menentukan suhu yang sesuai untuk proses pemrosesan fotoresist. Perbezaan suhu sebanyak 2°C pada permukaan wafer boleh menyebabkan perubahan pada lebar garisan yang terhasil, dan perubahan ini tidak akan dapat dilihat pada carta metrik sehingga berlaku kerugian pada kualiti wafer tersebut. Kami telah reka komponen pemanas dalam ketuhar pengering wafer ini agar perkara ini tidak berlaku.
Komponen pemanas tersebut terdiri daripada unsur inframerah gelombang pendek jenis kuarsa-halogen, yang digabungkan dengan arrai reflektor mikro-zon. Ia memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer pada tahap ±0.1°C untuk keseluruhan kumpulan wafer yang diproses, dengan ketepatan tetapan suhu sebanyak ±0.2°C. Komponen ini boleh beroperasi dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100 tanpa menghasilkan zarah-zarah kontaminan. Bahan-bahan yang digunakan juga kurang menghasilkan gas, dan reka bentuknya yang tertutup membantu mencegah kontaminasi. Perubahan suhu berlaku dengan cepat dan boleh dikawal dengan tepat, sehingga membolehkan proses pemrosesan fotoresist dilakukan dengan sempurna.
Dalam operasi harian, ini bermakna kawalan dimensi kritikal dapat dilakukan dengan lebih baik, dan jumlah wafer yang perlu diproses semula menjadi lebih sedikit. Komponen pemanas ini boleh beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan yang mudah, dan kawalan suhu yang ketat membantu mengurangkan pembaziran tenaga. Hasil pengeringan dan pemprosesan akan tetap konsisten dari satu giliran ke giliran yang lain, walaupun menggunakan pelbagai platform ketuhar.
Pemasangan komponen ini agak mudah, tetapi perlu diambil kira faktor-faktor yang mempengaruhi proses pemanasan. Pola aliran udara dalam ketuhar serta toleransi pemasangan komponen tersebut akan menentukan tahap keseragaman suhu yang dicapai. Oleh itu, perlu dilakukan kalibrasi semula selepas pemasangan komponen tersebut. Anggaplah komponen ini sebagai sebahagian daripada sistem pemanasan, bukan komponen yang berfungsi secara berasingan. Dengan cara ini, ketuhar akan berfungsi seperti yang diharapkan, setiap kali digunakan.