http://ir-heat-parts.com/ms/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on IR Heating Lamp Parts Hugo ms Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/ms/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/ms/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Pemancar inframerah untuk pemanasan dalam proses PECVD"></p> <p>Di bilik proses PECVD, suhu di dalam ruang proses bukanlah sekadar tetapan latar belakang semata-mata; ia merupakan faktor penting yang menentukan keberjayaan proses tersebut. Perubahan suhu sebanyak 1°C sahaja sudah cukup untuk menyebabkan perubahan pada tekanan filem yang terbentuk, serta ketidakkonsistenan kadar pengikisan filem tersebut. Jika pengeluarkan cahaya inframerah tidak berfungsi dengan baik, maka anda tidak akan dapat mencapai spesifikasi yang ditetapkan. Anda hanya akan mendapat hasil yang tidak memuaskan.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikal</strong><br> Kami menggunakan unsur halogen berfrekuensi gelombang pendek yang diletakkan di dalam pelindung kuarza. Unsur ini mampu menyesuaikan diri dengan cepat terhadap perubahan suhu, sekaligus memastikan kawalan spektrum yang tepat. Ini membolehkan konsistensi suhu pada tahap wafer sekitar ±0.1°C di kawasan <a href="https://o-yate.com">aktif</a>, serta ketepatan yang tinggi dari satu pelancaran ke pelancaran yang lain. Komponen-komponen ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100, tanpa menghasilkan zarah-zarah tambahan semasa operasi. Tiada pembebasan gas, tiada keretakan pada permukaan komponen. Hanya haba yang stabil sahaja yang dihasilkan.</p>