Tijdens het bakproces van de fotoresist ligt de controle over de lijndikte. Zelfs een verschil van 0,5°C in temperatuur kan leiden tot problemen als veranderingen in de CD-waarde, onzuiverheden en afval. De vervangende onderdelen voor de Leybold-vacuümverwarmers zijn ontworpen om de temperatuur constant te houden, uur na uur, onder vacuüм.
Wat technisch belangrijk is: We gebruiken korte-golflengtehalogeenemitters die zijn gemaakt van zeer zuiver kwarts. Hierdoor wordt de temperatuur snel bereikt en blijft deze gelijkmatig over de hele plaat. Het verwarmingsapparaat is geschikt voor gebruik in schone ruimtes met een klasse van 1–100. Bovendien zorgen de ontwerpkenmerken ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen tijdens het thermische proces. De stabiliteit van de temperatuur is ±0,1°C, zodat de parameters van het bakproces consequent blijven. De stroomvoorziening is afgestemd op de Leybold-platformen; er zijn standaardconnectoren en terminalindelingen, waardoor het vervangen van onderdelen gemakkelijk en snel gaat. De isolatie van koolstofvezel zorgt ervoor dat de warmte op de juiste plek blijft, waardoor de energieverbruik wordt verminderd zonder dat de prestaties worden beïnvloed.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie: Bij het verwerken van fotoresist mag er geen inconsistentie zijn. Een stabiel bakproces zorgt voor minder herwerkingswerk en een hogere opbrengst bij de eerste poging. Deze vervangende onderdelen zorgen ervoor dat de temperatuur weer stabiel wordt, waardoor de CD-uniformiteit verbetert en de lengte van de lijnen afneemt. Het apparaat kan 24/7 draaien, waardoor er consistentie blijft over duizenden cycli. Dit vermindert ongeplande stilstandtijd en de extra tijd die nodig is om problemen op te lossen.
Opmerkingen over de installatie: De installatie is eenvoudig, maar de omgeving in de kamer moet schoon en droog zijn. Residuen van het verwerkingsproces kunnen de emissoren sneller beschadigen. Pas de spanning en de richting van de connectoren aan op het specifieke Leybold-model. Controleer ook het type thermocouple, zodat er geen fouten optreden. Plan de vervanging op een preventief tijdstip in, en niet pas wanneer het echt nodig is. Op deze manier blijft de kwaliteit van het proces behouden.