http://ir-heat-parts.com/nl/tags/bakken/ Recent content in Bakken on IR Heating Lamp Parts Hugo nl Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/nl/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Verhitting na blootstelling (PEB) heater"></p> <p>Op de lithografieafdeling wordt een temperatuurschommeling in de PEB niet weergegeven door een waarschuwingslicht. In plaats daarvan zie je een verschuiving in de dikte van de lijnen op de schijf. Dit leidt tot een daling van de opbrengst, wat niet kan worden vastgesteld tijdens audits. In een fabriek is thermische herhelijkbaarheid geen optie; het is eerder een vereiste voor het procesbeheer.</p> <p><strong>Wat technisch gezien belangrijk is:</strong><br> We hebben de PEB-verwarmer gebouwd rondom korte golf-infraroodelementen en een kwarts<a href="https://henruite.com">基盤</a> die wordt gebruikt om warmte over te dragen. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de schijf binnen ±0,1°C. De temperatuurwaarden blijven constant, waardoor de chemische reacties van de fotoresist stabiel blijven. Het systeem is geschikt voor gebruik in een schone ruimte (klasse 1–100). De materialen die worden gebruikt, zorgen ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd. Het systeem kan 24/7 draaien zonder onverwachte stilstanden. Bovendien wordt de energieverbruik geminimaliseerd, zonder dat de thermische stabiliteit in gevaar komt.</p>