PECVD verwarming infraroodemitter

Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800

Op de productielijn is de temperatuur in de PECVD-kamer geen algemene instelling – het is juist de factor die bepaalt of het proces succesvol verloopt of niet. Een verschil van 1°C in de temperatuur heeft onmiddellijk gevolgen voor de spanningen in de film en voor de onevenredigheden in de etsetempo’s. Als de infraroodemitter zijn taak niet kan uitvoeren, kun je geen rekening meer houden met de vereiste specificaties. Dan moet je werken met afvalproducten.

Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij gebruiken kortegolfinfrarode halogeen-elementen die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Hierdoor kan de temperatuur snel worden geregeld, waardoor er een nauwkeurige controle over het spectrum mogelijk is. Dit zorgt voor een uniformiteit van ±0,1°C in de actieve zone van de schijf. Bovendien zorgt dit voor herhalbaarheid, zodat de thermische omstandigheden elke keer consistent blijven. De apparatuur is klaar voor gebruik in een schone ruimte (klasse 1–100), zonder dat er tijdens het gebruik partikels vrijkomen. Er is geen uitstoot van gasen en geen afbladdering van het materiaal. Er wordt alleen maar stabiele straling gegenereerd.

Emitter Zender on IR Heating Lamp Parts

PECVD verwarming infraroodemitter