W litografii piec do suszenia płytek nie służy wyłącznie do usuwania wilgoci. To właśnie on decyduje o warunkach termicznych podczas kolejnych procesów obróbki fotorezystu. Nawet niewielka różnica temperatury na powierzchni płytki może powodować zmiany w jej wymiarach, które nie są widoczne na żadnych wykresach pomiarowych, dopóki nie zaczną się problemy z jakością produktu. Dlatego stworzyliśmy element grzewczy w naszym piecu tak, aby temu zapobiec.
Jego rdzeniem jest element grzewczy typu kwarcowo-halogenu typu krótkofalowe promieniowanie podczerwone, połączony z układem reflektorów mikrozonalnych. Dzięki temu uzyskuje się jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki na poziomie ±0,1°C, przy tym powtarzalność wartości temperatury wynosi ±0,2°C. Element ten może pracować w środowiskach o czystości klasy 1–100, bez tworzenia się cząstek – materiały o niskiej emisji gazów oraz szczelna konstrukcja chronią przed zanieczyszczeniami. Tempowanie temperatury jest szybkie i kontrolowane, dzięki czemu można osiągnąć dokładny profil termiczny niezbędny do obróbki fotorezystu.
W praktyce oznacza to stabilną kontrolę wymiarów kluczowych elementów płytki oraz mniej potrzeby ponownej obróbki. Element grzewczy może pracować 24/7, a regularne konserwacje zapewniają efektywność pracy pieca. Dzięki precyzyjnej kontroli termicznej zmniejsza się zużycie energii na każdy cykl obróbki. Wyniki suszenia i obróbki są spójne, niezależnie od platformy pieca.
Instalacja jest prosta, ale należy traktować parametry termiczne jako zmienną procesu. Układ przepływu powietrza w piecu oraz tolerancje montażu elementu grzewczego wpływają na efektywność jego działania. Dlatego po wymianie elementu należy sprawdzić kalibrację pieca. Trzeba traktować element grzewczy jako część całego systemu termicznego, a nie jako osobny element – wtedy piec będzie funkcjonował zgodnie z normami, za każdym razem.