Peça de reposição para aquecedor a vácuo Leybold

Mon, 29 Jun 2026 07:27:28 +0800

Na etapa de secagem do fotoreativo, é onde ocorre o controle da espessura das linhas. Mesmo uma variação de temperatura de 0,5°C já pode causar desvios na espessura das linhas, além de problemas relacionados à qualidade do produto final. Os componentes térmicos da Leybold são projetados para manter a temperatura estável, hora após hora, mesmo sob condições de vácuo.

O que é importante, do ponto de vista técnico: Utilizamos emissores de halogênio de onda curta, feitos de quartzo de alta pureza – isso garante uma resposta rápida e uma uniformidade térmica maior em toda a superfície do wafer. O corpo do aquecedor é compatível com ambientes de sala limpa de classe 1–100, e seu design evita a liberação de partículas durante os ciclos térmicos. A estabilidade da temperatura fica entre ±0,1°C, garantindo que os perfis de secagem permaneçam consistentes. A potência fornecida é compatível com as plataformas da Leybold, com conectores e terminais padrão, o que facilita a substituição dos componentes. O isolamento em fibra de carbono mantém o calor no local correto, reduzindo o consumo de energia sem afetar a eficiência do processo.

Leybold on IR Heating Lamp Parts

Peça de reposição para aquecedor a vácuo Leybold