Sensor de temperatura para ferramenta de wafer

Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800

Pare de aquecer sua ferramenta e comece a aquecer o wafer.
As lâmpadas infravermelhas padrão são, basicamente, lâmpadas comuns – elas emitem calor em todas as direções. Em uma ferramenta para processamento de wafers, isso é um verdadeiro pesadelo.
Quando você aumenta a temperatura, uma grande parte dessa energia não atinge sequer o wafer. Em vez disso, ela vai direto para as paredes internas da máquina. Isso resulta em “paredes quentes”, que podem danificar as peças internas da máquina ou, pior ainda, causar queimaduras no operador durante as manutenções de rotina.

Aquecedor para ferramentas de inspeção de semicondutores

Tue, 30 Jun 2026 05:28:44 +0800

Na linha de produção, a estabilidade da inspeção é medida em graus, e não em minutos. Apenas alguns décimos de desvio durante o processo de secagem do fotorresistente já são suficientes para afetar as dimensões críticas dos produtos. Além disso, a presença de partículas pode arruinar todo o processo. Por isso, desenvolvemos esse aquecedor para eliminar essa variabilidade.

O que fizemos por trás dos panos: Utilizamos elementos infravermelhos de onda curta e um design térmico reforçado com quartzo. O tempo de aquecimento é rápido, e a uniformidade em nível de wafer fica entre ±0,1°C. Os pontos de ajuste permanecem estáveis durante os processos de secagem, evitando assim variações na exposição e no desenvolvimento dos produtos.

```Python on IR Heating Lamp Parts

Sensor de temperatura para ferramenta de wafer

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