В процессе литографии печь для сушки пластин не просто служит для удаления влаги. Она также определяет температурные условия, необходимые для последующей обработки фотополимерного материала. Даже небольшая разница температуры в 2°C может привести к изменению ширины линий на пластине; такое изменение не будет заметно на графиках контроля до тех пор, пока не начнутся ошибки в результатах измерений. Мы спроектировали нагревательный элемент печи таким образом, чтобы этого не происходило.
Основой нагревателя является кварцево-галогенный инфракрасный элемент с короткими волнами, сочетаемый с микроразделенной системой отражателей. Это обеспечивает однородность температуры по всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а точность регулировки температуры составляет ±0,2°C. Нагревательный элемент может использоваться в чистых помещениях класса 1–100 без образования частиц; использование материалов с низким уровнем выделения газов и герметичная конструкция предотвращают загрязнение. Температура может регулироваться быстро и точно, что позволяет достигать идеальных условий для обработки фотополимерного материала без перегрева.
На производстве это означает стабильный контроль критических размеров деталей и сокращение количества неудачных партий продукции. Нагревательный элемент может работать круглосуточно при минимальном уровне технического обслуживания, а точный контроль температуры снижает энергопотребление за цикл обработки. Результаты сушки и обработки остаются стабильными независимо от того, используется ли печь на одной или нескольких платформах.
Установка печи проста, но необходимо учитывать факторы теплового соединения. Режим потока воздуха в печи и допуски при монтаже нагревательного элемента влияют на однородность температуры. Поэтому после замены элемента необходимо проверить калибровку печи. Нагревательный элемент следует рассматривать как часть тепловой системы, а не как отдельный компонент. Тогда печь будет работать так, как предусмотрено, каждый раз.