http://ir-heat-parts.com/ru/tags/peb/ Recent content in (PEB) on IR Heating Lamp Parts Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Нагреватель для завершающей обработки после воздействия излучения (PEB)"></p> <p>На уровне литографии отклонения температуры PEB не проявляются в виде сигналов тревоги. Они проявляются в изменении ширины линий на пластинках, а также в снижении качества готовой продукции, причину которого невозможно определить при проверке. На производственном предприятии термическая стабильность является не просто желательной характеристикой, а необходимым условием для контроля процесса.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong> Мы разработали нагреватель PEB на основе кратковолновых инфракрасных элементов и кварцевой структуры. Благодаря этому однородность температуры на поверхности пластинок сохраняется в пределах ±0,1°C. Температурные параметры остаются стабильными при каждом цикле обработки, что способствует стабильности процесса химической амплификации фотополимера. Система подходит для использования в чистых комнатах класса 1–100; используются материалы, которые минимизируют образование частиц. Система работает круглосуточно без перерывов, при этом потребление энергии снижается без ущерба для термической стабильности.</p>