ระยะห่างด้านความปลอดภัยสำหรับการให้ความร้อนแก่เวเฟอร์

ระยะห่างด้านความปลอดภัยสำหรับการให้ความร้อนแก่เวเฟอร์

เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดสำหรับการให้ความร้อนในกระบวนการ PECVD

เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดสำหรับการให้ความร้อนในกระบวนการ PECVD