İşlem sırasında, foto direnç malzemesinin ısıl işlemi, çizgi genişliğinin kontrolünün yapıldığı aşamadır. 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi bile, CD değerlerinde değişikliklere, kalite sorunlarına ve atık oluşmasına neden olur. Leybold’un vakum ısıtıcı yedek parçaları, saatler boyunca vakum altında bu sıcaklık kontrolünü sağlamak için tasarlanmıştır.
Teknik açıdan önemli olanlar
Yüksek saflıkta kuvars malzemeden üretilmiş kısa dalga halojen yayıcılar kullanılır; bu sayede hızlı sıcaklık artışı ve wafer üzerinde eşit sıcaklık dağılımı sağlanır. Isıtıcı gövdesi, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve termal döngüler sırasında parça dökülmesi meydana gelmez. Ayar noktasının stabilitesi ±0,1°C civarındadır; böylece yumuşak ve sert ısıtma işlemleri tutarlı kalır. Güç sağlama sistemi, Leybold platformlarına uygun şekilde tasarlanmış olup, standart konektörler ve terminal düzenlemeleri sayesinde değiştirme işlemi kolay ve hızlı gerçekleştirilir. Karbon fiber yalıtımı ise ısıyı istenilen yerde tutar, böylece enerji tüketimi azalırken tepki hızı da korunur.
Litografi açısından neden önemli?
Foto direnç işlemlerinde tutarsızlıklara izin verilmez. Stabil bir ısıtma profili, daha az yeniden işleme gerektirir ve ilk denemede daha yüksek verim elde edilir. Bu yedek parçalar, orijinal ısıtma profiline geri dönülmesini sağlar; böylece CD değerlerindeki tutarlılık artar ve çizgi uçlarının kısalması azalır. 24/7 çalışan bu cihazlar, binlerce döngü boyunca tutarlılık sağlar; bu da planlanmayan arızaların ve mühendislik zaman kaybının önüne geçer.
Kullanım notları
Montajı oldukça basittir; ancak odanın temiz ve kuru olması gerekir. Kalan işlem artıkları, yayıcıların ömrünü kısaltır. Gerilimi ve konektör yönlendirmesini belirli Leybold modeline göre ayarlayın ve termokupl türünü doğru şekilde kontrol edin ki kontrolde sapmalar olmasın. Yedek parça değişimini acil durumlarda değil, önleyici bir şekilde planlayın. Böylece işlem disiplini korunmuş olur.