Wafers on IR Heating Lamp Parts

Web üzerinden wafer işleme yedek parçaları

Sat, 04 Jul 2026 11:42:36 +0800

Giriş
Biz halojen ısıtma lambaları üretiyoruz; ancak bunlar, sıradan atölyelerde bulunan türden değildir. Bunlar özellikle yonga işleme hatları için tasarlanmıştır. Yüksek güç gerektiren ve tekrarlanabilir ısı sağlaması gereken üst düzey fabrikalar için uygundurlar; ayrıca çok fazla yer kaplamazlar.

Güç, voltaj ve uyumluluk konuları
Yonga işlemede bu lambalar genellikle 400V’da 2500W güç üretecek şekilde tasarlanır. Bu voltaj seçimi önemlidir; çünkü aynı güçte daha düşük akım kullanılması sayesinde kablo kayıpları azalır ve kontrol kutusu daha soğuk kalır. Böylece uzun süreli kullanımlarda bile sabit bir çıkış elde edilir.

Wafer fırını için SK15 kızılötesi lamba

Sun, 28 Jun 2026 06:03:02 +0800

Üretim alanında, waferlerin kurutulması veya foto dirençlerin işlenmesi sırasında meydana gelen termal dalgalanmalar sadece verimsizliklere yol açmakla kalmaz; aynı zamanda ürün kalitesini de olumsuz etkiler. Wafer üzerindeki 3°C’lük bir sıcaklık farkı, kritik boyutların bozulmasına neden olabilir. Yavaş ısıtma süreçleri ise çözücülerin birikmesine ve hataların ortaya çıkmasına yol açar. SK15 infrared lambası, bu tür sorunları, tahmine dayalı değil, mühendislik temelli bir ısı sağlayarak engellemek için tasarlanmıştır.

Bu süreçte önemli olan şey kontrolü sağlamaktır. SK15, saniyenin altında bir sürede tepki verebilen kısa dalga boyundaki infrared elemanlar kullanır; böylece ısı kontrolünü kolayca sağlayabilirsiniz. 300 mm’lik bir wafer üzerinde ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlar. Spektrumu, foto dirençlerin emilim özelliklerine uygun şekilde ayarlanmıştır; bu da kenar ve merkez bölgelerinde aynı ısı koşullarının sağlanmasını sağlar. Düşük parçacık içeriği sayesinde Class 1–100 temiz odalarla uyumludur. Gaz salınımı yoktur, filament tozu yoktur ve termal döngülerden kaynaklanan atıklar da yoktur. Tekrarlanabilirlik çok önemlidir; çünkü litografi işlemlerinde sıcaklık değerlerinin tolerans aralığında kalması gerekmektedir.

Ucuz wafer kurutma lamba ampulü

Fri, 26 Jun 2026 05:25:39 +0800

Üretim alanında, kurutma sıcaklığındaki bu tür değişiklikler küçük bir tolerans sorunu değildir. Bu durum, ürün kalitesini ciddi şekilde etkiler. Zaten “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” süreçleri oldukça hassastır; eğer wafer üzerindeki termal profil düzgün değilse, bunun sonucunda boyutsal hatalar ortaya çıkar. Biz de bu tür değişiklikleri kaynağında engellemek için bu tür kurutma lambalarını geliştirdik.

Önemli olan şeyler
Hızlı tepki verme ve stabil spektral çıkış özellikleri nedeniyle kuvars kapsüller içinde kısa dalga boylu halojen elementleri kullanıyoruz. Lamba, chuck üzerinde ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlar ve ayar noktasının tekrarlanabilirliği±0,5°C civarındadır. Çıkış değerleri, foto dirençlerin emilimine uygun olarak 300–400 nm aralığında kalibre edilmiştir; böylece çözücülerin buharlaşması düzenli kalır ve aşırı değerler oluşmaz. Lamba, standart lamba soketlerine uygun olup belirlenmiş voltaj ve güç değerlerine sahiptir. Ayrıca, 1. sınıftan 100. sınıfa kadar olan temiz oda standartlarına uygundur. Mühürlü yapı ve düşük gaz salınımı özellikleri sayesinde parçacık oluşumu azalır ve işlem sırasında parçacık sayısı sabit kalır.