انفراریڈ بمقابلہ فورسڈ ایر: آپ کے کلین روم کے لئے کون سا طریقہ بہتر ہے؟
سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں فورسڈ ایر ہیٹنگ کی جگہ انفراریڈ ہیٹنگ استعمال کرنا، صرف ایک طریقے کی تبدیلی نہیں ہے؛ بلکہ یہ تو توانائی کے استعمال کا ایک بالکل مختلف طریقہ ہے۔
فورسڈ ایر ہیٹنگ کے بارے میں سوچیں… دراصل آپ ایک بڑے ہوا کے بلبلے کو گرم کر رہے ہیں، اور امید کرتے ہیں کہ یہ حرارت وقت کے ساتھ آپ کے سبسٹریٹ تک پہنچ جائے گی۔ لیکن اس کے لئے بہت وقت لگتا ہے… آپ صرف انتظار کرتے رہتے ہیں، اور یہ انتظاری وقت آپ کی پیداواری صلاحیت کے لئے ایک بڑا خطرہ ہے۔
رفتار میں بہت فرق ہے۔
انفراریڈ ہیٹنگ میں تو الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کا استعمال کیا جاتا ہے… اس کے لئے ہوا کی کوئی ضرورت نہیں ہے؛ یہ تو براہ راست ہدف پر پہنچ کر فوراً حرارت پیدا کر دیتا ہے۔
اس کی مثال ویفرز کو گرم کرنے یا ان کو خشک کرنے میں دیکھی جا سکتی ہے… ہوا کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کے بجائے، چند سیکنڈوں میں ہی کام مکمل ہو جاتا ہے… یہ بہت تیز ہے… اور یہ آپ کی پیداواری صلاحیت کے لئے بہت فائدہ مند ہے۔
لیکن یہ سب کچھ اتنا آسان نہیں ہے… انفراریڈ ہیٹنگ میں کچھ مشکلات بھی ہیں۔
انفراریڈ توانائی کی رفتار مخصوص سمت میں ہوتی ہے… یہ تو بالکل فلیش لائٹ کی طرح ہے… اگر لائٹ کی جگہ درست نہ ہو، یا ریفلیکٹر کے زاویے درست نہ ہوں، تو کچھ جگہوں پر زیادہ حرارت پیدا ہو جاتی ہے۔
آپ اسے ایسے ہی “سیٹ کرکے بھول جانے” والا آلہ نہیں سمجھ سکتے… آپ کو اپنی پوزیشن کو بہت درست طریقے سے سیٹ کرنا ہوگا… اگر آپ ایک ہی جگہ پر زیادہ واٹجز استعمال کریں، تو درجہ حرارت بہت زیادہ بڑھ جائے گا، اور آپ کے ویفر کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔
اس کو درست طریقے سے سیٹ کرنے کے لئے تھوڑی مہارت کی ضرورت ہے… لیکن جب آپ فاصلے اور واٹجز کو درست طریقے سے سیٹ کر لیں، تو یہ بالکل الگ ہی سطح کا آلہ بن جاتا ہے۔