Trên một dây chuyền 300mm, sự dịch chuyển nhiệt độ nửa độ C trong quá trình nướng photoresist đủ để làm lệch kiểm soát kích thước quan trọng ra khỏi thông số kỹ thuật. Bạn có thể quan sát các dao động xuất hiện trên biểu đồ SPC, và lượng phế phẩm tăng nhanh. Chúng tôi đã phát triển bộ gia nhiệt hồng ngoại chính xác dành cho điện tử nhằm giữ hành vi nhiệt trong phạm vi quy trình, ca này sang ca khác.
Điểm quan trọng về mặt kỹ thuật: Thiết bị sử dụng các bộ phát NIR sóng ngắn theo thiết kế quartz-halogen, cho phản hồi nhanh và bức xạ trực tiếp, ổn định trong vòng chưa đầy một giây. Trên toàn vùng nướng, độ đồng đều ở cấp wafer duy trì ở ±0.1°C, giúp kích thước line và space có thể dự đoán được sau cả giai đoạn soft bake và hard bake.
Thiết kế dành cho môi trường phòng sạch—hoạt động ở cấp Class 1–100, không sinh ra hạt bụi, vỏ kín và đầu nối phù hợp quy trình sạch. Khả năng lặp lại là ±0.2°C trong các chu trình vận hành 24/7, và trong các triển khai thử nghiệm, chúng tôi không ghi nhận sự cố ngưng hoạt động ngoài kế hoạch.
Lý do nó hoạt động trong quy trình litho Bước nướng định hình profile photoresist và thiết lập mức lỗi cơ bản. Ổn định nhiệt độ trên wafer giúp giảm việc làm lại và cải thiện năng suất. Kết quả là phân phối kích thước CD chặt hơn, ít sự cố mất nét liên quan đến dịch chuyển nhiệt và hành vi loại bỏ edge bead đồng nhất.
Do đường truyền bức xạ làm nóng trực tiếp mục tiêu, năng lượng tiêu thụ giảm—bạn không cần làm nóng toàn bộ buồng. Và các bộ phát có tuổi thọ cao: chúng tôi đã vận hành thiết bị trên 5.000 giờ với mức giảm công suất dưới 5%, do đó tần suất thay thế rất thấp.
Những điểm cần lưu ý Việc lắp đặt phụ thuộc vào khoảng cách giữa bộ phát và wafer cùng hệ số nhìn; ngay cả thay đổi nhỏ về khoảng cách cũng làm dịch chuyển profile nhiệt. Bộ gia nhiệt phù hợp với các giá đỡ OEM tiêu chuẩn, nhưng nếu bạn tích hợp vào nền tảng cũ, có thể cần bộ chuyển cơ khí nhỏ.
Lên kế hoạch tiếp đất ESD theo tiêu chuẩn phòng sạch, và đảm bảo bộ điều khiển có thể đóng vòng lặp với bất kỳ cảm biến nào bạn chọn. Phù hợp điện áp và đầu nối với trạm của bạn, và dự trù một đợt chạy hiệu chuẩn ngắn để cố định công thức quy trình.