Bộ phát tia hồng ngoại dùng để làm nóng trong quy trình PECVD

Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800

Trên dây chuyền sản xuất, nhiệt độ trong buồng PECVD không phải là thông số được cài đặt sẵn một cách ngẫu nhiên – đó chính là yếu tố quyết định thành công hay thất bại của quy trình sản xuất. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 1°C, điều đó đã khiến cho áp suất lên lớp vật liệu phim thay đổi, và tốc độ khắc cũng trở nên không đồng đều. Nếu bộ phát tia hồng ngoại không thể duy trì nhiệt độ ổn định, thì bạn sẽ không thể đạt được các tiêu chuẩn mong muốn nữa; lúc đó, bạn chỉ còn cách chấp nhận việc sản xuất ra những sản phẩm kém chất lượng mà thôi.

PECVD on IR Heating Lamp Parts

Bộ phát tia hồng ngoại dùng để làm nóng trong quy trình PECVD