可持续的制造解决方案

Sat, 18 Jul 2026 04:15:58 +0800

防止事故发生：化学处理区域中的红外加热技术

如果在半导体制造厂工作，你一定知道其中的挑战。化学清洗步骤是必要的，但这些过程中会使用到许多易挥发的溶剂。如果将普通红外灯放入这类环境中，那就不只是单纯地加热晶圆而已——实际上，这无异于为火灾埋下隐患。

我们找到了更好的解决方案。我们没有采用那种让所有部件都暴露在外的设计，而是用专门的防爆外壳将整个装置包裹起来。

可以把这种密封结构想象成一个保护层。我们用高级石英或硼硅玻璃来包裹红外灯，再用密封垫将两端固定住，这样即使遇到强腐蚀性化学物质，密封垫也不会损坏。这样一来，加热元件与周围的空气之间就形成了一道屏障。因此，就算有化学蒸汽泄漏进腔体里，也没关系——因为那些蒸汽无法接触到高温的钨丝。