http://ir-heat-parts.com/zh/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on IR Heating Lamp Parts Hugo zh Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Tue, 21 Jul 2026 04:05:00 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="晶圆加工设备用温度传感器"></p> <h1 id="停止给工具加热而是将热量直接传递到晶圆上">停止给工具加热，而是将热量直接传递到晶圆上</h1> <p>普通的红外灯其实就跟普通灯泡没<a href="https://o-yate.com">什么两样</a>——它们会将热量向各个方向散发。对于晶圆加工设备来说，这显然是个大问题。<br> 当您提高加热功率时，大部分能量并不会作用<a href="https://goldisgood.com">于晶圆上</a>，而是直接撞击到设备的内部结构上。这样一来，设备的内部部件就可能会因为过热而变形，更糟糕的是，操作人员在日常维护时还可能被烫伤。</p> <h2 id="将热量精确地传递到需要的地方">将热量精确地传递到需要的地方</h2> <p>为了解决这个问题，我们采用了定向红外技术。与其使用普通的石英管来释放热量，不如使用专门的反射器和涂层来引导热量。<br> 这就好比用手电筒而不是蜡烛来照明——我们让红外能量直接照射在晶圆表面，同时避免其散射到设备外壳上。<br> 由于光束更加集中，因此就不必再浪费能量在设备外壳上了。热量能够精确地到达需要它的地方。此外，设备的外壳也能保持凉爽，从而提升工作场所的安全性。</p>