http://ir-heat-parts.com/zh/tags/peb/ Recent content in PEB on IR Heating Lamp Parts Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 03 Jul 2026 09:23:23 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="曝光后烘烤装置 PEB 加热器"></p> <p>在光刻生产线上，PEB的温度偏差并不会通过警示灯来显示。相反，它会表现为整批晶圆上的线宽偏差，进而导致良率下降，而这种下降往往难以通过常规检测手段确定原因。在芯片制造厂中，温度的稳定性并非可有可无的要素，而是工艺控制中的关键因素。</p>