http://ir-heat-parts.com/zh/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on IR Heating Lamp Parts Hugo zh Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:45 +0800 http://ir-heat-parts.com/zh/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-parts.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="PECVD加热红外发射器"></p> <p>在制造车间里，PECVD腔体的温度并非一个可以随意设定的参数——它直接决定了工艺的成功与否。如果基座的温度出现1°C的波动，就会导致薄膜应力发生变化，进而使刻蚀速率变得不均匀。如果红外发射器无法保持稳定的温度，那就不可能达到预定的工艺标准，最终只能得到废品。</p>